2009년 추계학술대회
Current Result Document :
| 한글제목(Korean Title) |
Characterization of Nano-Grained ZnO Piezoelectric Thin Films Deposited under Various Sputtering Conditions |
| 영문제목(English Title) |
Characterization of Nano-Grained ZnO Piezoelectric Thin Films Deposited under Various Sputtering Conditions |
| 저자(Author) |
Ruirui Zhang
Eunju Lee
Giwan Yoon
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| 원문수록처(Citation) |
VOL 13 NO. 02 PP. 0428 ~ 0430 (2009. 10) |
한글내용
(Korean Abstract) |
본 논문은 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 p-Si (100) 기판위에 증착된 C축 배향을 가지는 ZnO 박막의 특성을 분석하고 있다. 증착 전력, 공정 압력, 반응가스로 사용된 산소 가스의 비율과 같은 증착 조건들을 변화시켰을 때, ZnO 박막의 결정구조의 변화를 분석한다. 증착된 ZnO 박막의 결정 구조는 주사 전자 현미경(scanning electron microscope, SEM)을 이용하여 조사되었다. 분석 결과 증착 파라미터들은 증착된 ZnO 박막의 결정(grain) 크기와 배향 특성에 강한 영향을 미친다는 사실을 알 수 있다.
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영문내용
(English Abstract) |
C-axis-oriented ZnO thin films were successfully deposited on p-Si (100) in an RF magnetron sputtering system. Deposition conditions such as deposition power, working pressure, and oxygen gas ratio were varied. Crystalline structures of the deposited ZnO films were investigated by a scanning electron microscope (SEM) technique. Results show that the deposition parameters can have a strong impact on the preferred orientations and grain sizes of the deposited ZnO films.
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| 키워드(Keyword) |
C-axis orientation
Grain size
RF Magnetron sputtering
ZnO thin film
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